產(chǎn)品簡(jiǎn)介

BASIXX ST20 +是一款桌面式勻膠機系統，性?xún)r(jià)比高，具有勻膠、清洗、顯影和干燥等多種功能，樣品最大尺寸為8寸晶圓或者150mm*150mm方片，廣泛用于大學(xué)，研究所等科研實(shí)驗室。

產(chǎn)品特色

÷ 桌面版本的緊湊型設計

÷ 手動(dòng)裝載/卸載

÷ 襯底最大可達?200 mm (?8 inch) 或150x150 mm (6 x 6 inch)

÷ 軟件提供用戶(hù)友好的操作

÷ 直驅旋涂電機

÷ 全軸電機驅動(dòng)且完全可編程

÷ 帶安全中斷傳感器的透明蓋

÷ 可更換并易于拆卸的工藝腔和防濺環(huán)，方便清潔。

÷ 系統材料可抵抗所有類(lèi)型的抗蝕劑和溶劑以及各種清潔介質(zhì)。 (PP-聚丙烯)

÷ 包含 0.5 升廢液瓶

技術(shù)數據

÷ 襯底尺寸: 最大可達?200 mm (?8 inch) 或150 x 15 mm (6x6inch)

÷ 電機轉速: 最大10.000rpm，步長(cháng)1rpm

÷ 電機加速: 最大4.000rpm/s

÷ 步進(jìn)時(shí)間: 1至999.9s，步長(cháng)為0.1s

÷  工作腔材料: PP 

÷  系統架構材料: PP 

÷  液體線(xiàn)路：

    3線(xiàn): 2x24 V/ 最大1 Amp (每條)/觸發(fā)點(diǎn)0.1秒-∞

    5線(xiàn): 6x24 V/ 最大1 Amp (每條)/觸發(fā)點(diǎn)0.1秒-∞

選項

÷自動(dòng)液體輸送臂     ÷液體罐        ÷ 防濺環(huán)

÷ 廢液池           ÷ DI水沖洗     ÷ N2吹掃

÷熱板           ÷不同類(lèi)型的夾具   ÷ 中心定位模塊